Các thông số kỹ thuật cho các mục tiêu và các tài liệu

- Mar 31, 2017-

Các thông số kỹ thuật cho các mục tiêu và các tài liệu

 

Mục tiêu xoay tròn


Hàm lượng tạp chất thấp, độ tinh khiết cao

Độ tinh khiết là một trong những chỉ số hiệu suất quan trọng nhất của các mục tiêu phun và vật liệu catốt, nó có ảnh hưởng sâu sắc đến sự đồng nhất của màng mỏng. Bây giờ, yêu cầu về độ tinh khiết của các mục tiêu phun và vật liệu cathodes ngày càng cao hơn. Ví dụ, với sự phát triển nhanh chóng của ngành công nghiệp vi điện tử, kích thước wafer silicon phát triển từ 6 ", 8" đến 12 ", và chiều rộng dây từ 0,5 um giảm xuống 0,25 um, 0,18 um và 0,13 um, độ tinh khiết 99,995% của sự phun trào Các vật liệu mục tiêu có thể đáp ứng các yêu cầu về công nghệ là 0,35 um, nhưng bây giờ 0,18 um và 0,13 đường dây yêu cầu độ tinh khiết của 99.999% hoặc cao hơn các mục tiêu phun và vật liệu cathod.

 

Mật độ cao

Những ưu điểm của các mục tiêu xát tán mật độ cao và vật liệu cathode là:

- Độ dẫn điện xuất sắc

- Độ dẫn nhiệt xuất sắc

- cường độ cao

Trong quy trình phủ với mục tiêu xát tán mật độ cao và vật liệu cathode,

Điện phân tán thấp hơn, tốc độ lắng đọng nhanh hơn, chất lượng của màng mỏng tốt hơn và không dễ crack. Tuổi thọ của các mục tiêu phun và vật liệu cathod sẽ lâu hơn, chúng ta có thể có được màng mỏng với điện trở suất thấp và độ truyền ánh sáng cao hơn.

 

Cấu trúc vi mô-của-CP-titan-theo chiều dọc-direction.jpg

Cấu trúc vi mô của các mục tiêu xáo trộn Titanium , Lớp 2


Kích thước hạt mịn và tính đồng nhất của cấu trúc vi mô

Kích thước hạt tốt hơn, chiều dày của màng mỏng sẽ phân phối đồng đều hơn, tốc độ phun sẽ nhanh hơn. Và sự đồng nhất của các mục tiêu phun và vật liệu cathode là sự đảm bảo quan trọng cho chất lượng màng mỏng.

 

Mục tiêu phun trào phẳng


Haohai kim loại phát triển một loạt các nội dung tạp chất thấp, độ tinh khiết cao, mật độ cao, kích thước hạt tốt và mục tiêu thúc đẩy vi mô đồng nhất và catốt, với các vật liệu của Titanium , Zirconium , Chromium , Niobium , Tantali , Molybdenum , Hafnium , nhôm , Silicon , AlTi , AlCr , NiCr SiAl vv, để cải thiện quá trình phủ của bạn và có được các lớp chức năng dày hơn, bền hơn và tốt hơn.

 

Vui lòng không ngần ngại liên hệ với chúng tôi qua sales@pvdtarget.com Để biết thêm thông tin và giá cả.

Một cặp:Miễn phí Tiếp theo:PVD HỆ THỐNG LỌC THẤP